삼성전자 일본제 불화수소 대체품 투입 성공

삼성전자가 최근 반도체 공정에 사용되던 일본의 고순도 불화수소(에칭가스) 일부를 국산품 등으로 대체한 것으로 확인됐다.

삼성전자 관계자는 3일 "반도체 제조에 일본산 이외의 제품을 투입했다"며 "민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 확대할 계획"이라고 밝혔다.

업계에 따르면 생산에 투입된 불화수소에는 국내 업체가 생산한 제품도 포함된 것으로 알려졌다.

이는 일본이 7월 초 한국에 대해 불화수소를 포함한 3개 품목의 수출을 규제한 이후 약 두 달 만이다.

삼성전자는 수출규제 직후부터 일본 불화수소를 대체할 수 있도록 국내외 제품의 테스트를 진행해왔으나, 업계는 제품을 양산에 투입하기까지 3∼6개월가량의 시간이 소요될 것으로 전망했었다.

LG디스플레이는 이미 국산 불화수소를 공정에 투입했으며 삼성디스플레이도 조만간 테스트를 완료할 것으로 보인다.

SK하이닉스도 대체 불화수소 투입이 임박한 것으로 알려졌다. 이미 상당량의 대체 소재가 SK하이닉스에 납품된 것으로 파악됐다. SK하이닉스와 대체 불화수소를 준비해 온 램테크놀러지 관계자는 “수백톤을 SK하이닉스 쪽에 납품했다”고 말했다.

이달 말에는 국산 불화수소도 대량 생산이 예정돼 있어 앞으로 더 많은 일본산 소재 교체가 이뤄질 것으로 예상된다. 현재 증설하고 있는 솔브레인 공장이 완공되면 삼성전자나 SK하이닉스에서 필요한 물량을 소화할 수 있을 것으로 보인다.

솔브레인은 초고순도 불화수소를 만들 수 있는 기술력을 갖췄고, 규모와 품질 면에서도 일본산 불화수소 대체가 가능하다는 평가를 받고 있다. 일본 스텔라 불화수소를 수입, 정제한 후 삼성전자와 SK하이닉스에 공급해 왔지만 중국에서 원료(무수불산)를 가져와 직접 불화수소를 만드는 사업도 동시에 진행하면서 기술력을 쌓았다.

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