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東京エレクトロンが韓国平沢に大規模SPセンター竣工
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東京エレクトロン(TEL)は、京畿道平沢(ピョンテク)に大規模な顧客サポートセンターを竣工した。平沢には、サムスン電子の最先端メモリ半導体工場が位置している。 TELは、サムスン平沢事業所からわずか600mの距離にこの施設を構築した。
韓国電子新聞によると、PTSCは技術対応とエンジニアリングに焦点が当てられるが、今後は主要装備に入る部品を生産する可能性もあると伝えられた。
TELコリア(代表ウォン剤形)は21日、平沢市に新たな「都市型」の工場を竣工し、運営に入ったと発表した。新たに竣工された工場の正式名称は、平沢技術支援センター(PTSC)だ。 PTSCは延べ面積7025㎡(約2125坪)の3階建て。今後、最大400人の社員が従事するという。
TELはすでに、サムスン電子の華城事業所の隣に、「東京エレクトロン韓国技術センター(TTCK)」と呼ばれる大型の研究開発(R&D)センターを保有している。ここでは、次世代と次々世代の半導体装置のR&Dが行われる。ウェハ工程が行われるチャンバーだけでも数十台が設置されているといわれる。
同地は、サムスン電子の次世代メモリー半導体生産における中核基地だ。ここでは毎月20万枚以上の生産能力を備えたDラムおよびNAND型フラッシュ設備が稼働している。サムスンは最近、平澤第1工場の余剰スペースと新規工場である第2工場に最先端のDラム設備投資を進めている。
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