비보>>> 삼성, 반도체 불산 재사용 기술 개발

삼성전자가 개발한 시스템은 웨이퍼 뒷면 세척 공정에서 불산을 재사용하는 시스템이다.
배선 공정 이후 웨이퍼 표면에 남은 금속 오염물질을 제거하는 것이다.
삼성전자는 여러 단계의 테스트를 거쳐 불화수소 혼합액의 80%가량을 재활용하면서 생산매수 1500매까지 품질 안정성을 확보하는 최적 조건을 찾아냈다.

삼성전자는 시범 운영 결과에 따라 전체 설비를 대상으로 한 확대할지 여부를 결정할 계획이다.
삼성전자에서는 향후 재사용 시스템을 전 사업장에 적용한다면 기존 불화수소 사용량의 87%가 줄어들 것으로 보는 것으로 알려졌다.

https://news.v.daum.net/v/20210215164047946