SK、フッ化水素国産化に成功... 「半導体ラインに投入開始」

サムスン電子も先月から一部の生産ラインで、国産の液体フッ化水素を使用している。同社の関係者は、「相対的に」あまり敏感」の生産ラインで、日本製品の代わりに国内で生産した液体フッ化水素を使用する」と述べた。半導体業界"ため息回し" サムスンも「あまり敏感」いくつかの行に国産液体フッ化水素使用中、日本政府は、液体フッ化水素（エッチング液）の輸出承認を今日明日先送り状況で「国産化」のニュースが聞こえてくる者の国内半導体業界では「ため息回した」という反応が出た。日本は昨年8月から順次フォトレジスト（感光液）、気体フッ化水素、フッ素ポリイミドの輸出を許可した。しかし、液体フッ化水素輸出は「書類補完」などの理由を掲げ承認していない。国内業界では、液体フッ化水素がウエハエッチング（削り出すこと）と不純物除去など広範囲に使用されるため、日本が「意図的に」輸出承認を先送りすると見ている。業界関係者は、「日本政府の液体フッ化水素輸出許可が遅くなり、サムスン電子とSKハイニックスが国産製品の品質テストにさらに速度を出した」とし「日本の輸出規制は、コア材料の国産化の土台になった」と評価した。ディスプレイ業界では、半導体業界より速い速度で液体フッ化水素国産化が行われている。LGディスプレーは先月初め、液体フッ化水素一部国産化のニュースを発表した。今月円の生産ラインに投入される液体フッ化水素100％を国産化する予定であることが分かった。サムスンディスプレイも最近、国産液体フッ化水素テストを終え、近いうちに生産ラインに投入する予定である。
日本政府は先月30日、機体フッ化水素輸出二件を承認した。日本の輸出規制が始まって以来、半導体コア材料3種の関連輸出承認件数は合計七件である。今回の輸出承認された気体フッ化水素はSKハイニックス、サムスン電子がそれぞれ輸入することが分かった。SKハイニックスの輸入量が許可を受けたのは今回が初めてだ。SKハイニックスの関係者は、「初めて日本政府からの輸出承認を受けたのが正しい」とし「まだ製品が国内に入って来なかった」と説明した。