SK、フッ化水素国産化に成功... 「半導体ラインに投入開始」

SKハイニックスが日本の輸出規制品目のいずれかである液体フッ化水素（エッチング液）の国産化に成功した。今月初めから、国内メーカーの製品をいくつかの半導体生産ラインに投入している。液体フッ化水素は、半導体ディスクのウエハを削って不純物を取り除くために使われる重要な材料である。

日本政府は、大（對）韓国の輸出規制を開始した昨年7月以降の機体フッ化水素の輸出は三件承認したが、液体製品の輸出はまだ一件も許可していなかった。産業界では、半導体企業の核心素材の国産化と供給先の多様化が予想より早く行われているという評価が出ている。

SKハイニックスの関係者は2日、「過去1日から一部の生産ラインに日本産の液体フッ化水素の代わりに国産製品を投入している」と述べた。同社は、液体フッ化水素をラムテクノロジーで供給されることが分かった。

ラムテクノロジは、2001年10月に設立された半導体工程用化学物質の専門企業である。中国産原料を輸入して再加工したフッ化水素の製品と独自の生産分を集めSKハイニックスに納品している。ラムテクノロジーの液体フッ化水素供給可能量は年間7000tのレベルにSKハイニックス全体の需要量の半分程度だ。SKハイニックスとラムテクノロジは、昨年末から液体フッ化水素の生産を一緒に準備し、先月最終的な品質試験を終えたことが分かった。