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SBS뉴스
그동안 일본이 반도체용 초순수 기술을 독점해 왔는데, 최근 한국도 자체 기술로 첫 생산에 성공했습니다.
반도체를 만들 때 실리콘 웨이퍼를 물로 씻는 공정, 미세한 이물질이라도 기판의 전류 흐름을 방해할 수 있기 때문에 극도로 깨끗한 물, 일명 '초순수' 만이 반도체 세정 작업에 쓰입니다.
한국의 설계 기술로 만들어진 첫 초순수 생산 시설이 내부 설비를 공개했습니다.
자외선 산화와 이온 교환 설비 등 25차례 공정을 거치면 이물질 제로에 가까운 초순수가 완성됩니다.
그동안 초순수 기술 대부분은 전 세계에서 일본이 독점해 왔습니다.
국내 반도체 기업의 초순수 설비가 고장 나도 일본 기술진이 직접 들어와야 수리가 가능할 만큼 의존도가 높았습니다.
[임강빈/SK실트론 프로 : 외산 (초순수) 설비 딜리버리(배송)가 3개월에서 4,5개월로 증가한 경험이 있습니다. 초순수를 국산화함으로 인해서 웨이퍼를 안정적으로 제조 생산할 수 있을 것으로 판단됩니다.]
일본 의존 문제가 드러난 건 지난 2019년 일본이 반도체 소재 수출 규제에 나서면서부터입니다.
환경부는 수자원 공사와 함께 초순수 기술 국산화에 나섰고, 지난해 말 '공정 설계' 단계의 첫 국산화에 성공했습니다.
정부는 오는 2025년까지 초순수 시설 장비의 70%까지 국산화율을 끌어올릴 방침입니다.
부메랑이 되어 돌아온 열도의 수출규제 , 한국 초순수 개발 성공
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