韓国の国策研究機関「低温フォトレジストを世界で初めて商用化」「日本企業も不可能だった成果」

韓国の国策研究機関である韓国電子通信研究院（ETRI）は9日、ディスプレイ用低温フォトレジストを世界で初めて商用化に成功したと明らかにした。韓国各紙も報じた。ETRIは韓国の先端素材企業である東進セミケムと協力し今回の商用化に漕ぎつけた。同社はフッ化アルゴン（ArF）フォトレジストを国産化し既にサムスン電子に供給している企業だ。

ETRIは、100℃以下の工程温度でもピクセルサイズが3μm以下にできる素材技術を開発し、これを韓国で初めてOLED（有機EL）マイクロディスプレイに適用した。半導体だけでなくディスプレイを作る上でもフォトレジストは必須だが、これまで主に日本からの輸入製品に依存していた。しかし2019年に日本が対韓国輸出規制をとって以降、ETRIはこれら国産化を進めていた。

今回の開発には、東進セミケムやSKCハイテク＆マーケティング社など、すでに半導体素材などの国産化において成果を出している民間企業が関わったことが明らかにされた。今回開発された素材は「韓国企業はもちろん日本企業でも開発できなかった革新的な成果である」とETRIは強調した。

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