韓国政府、半導体工程に使われる「超純水」の国産化事業を2025年まで実施

韓国政府が半導体事業の必須原料の一つである「超純水（Ultra Pure Water）」生産技術の国産化を本格的に推進する予定だ。

韓国環境部は韓国水資源公社、韓国環境産業技術院とともに、「高純度工業用水設計・施工・運営統合国産化技術開発」事業を立ち上げ、2025年まで実施することを明らかにした。これは、国産技術を活用し、半導体工程などで使用される高純度工業用水を生産及び供給するための研究開発（R&D）事業である。事業費は480億ウォン（約46億円）である。この政策は、2019年にあった対韓国輸出規制（日本による輸出管理の強化）に対応する措置の一つとして推進される。

超純水は数百種類の半導体生産単位工程で発生する副産物や汚染物質を洗浄する際に使われる、半導体工程に必要な工業用水である。超微細回路で構成されている半導体の洗浄に使用するため、全有機炭素（TOC）濃度を10億分の1（ppb）以下にしなければならない。超純水工業用水は、半導体工程で使用される用水全体の半分以上を占めている。

韓国はこれまで、超純水工業用水の生産、供給を日本などの海外企業に依存していた。特に、工程設計、超純水配管、水処理薬品などを日本に依存していたため、輸出規制などの外部要因に脆弱であった。

韓国環境部は、このような実態を受け、今年度から高純度工業用水生産の核心部品である紫外線酸化装置（UV）と溶存酸素除去用水中気体除去膜の国産化技術開発に取り掛かることにした。韓国水資源公社は、2025年までに一日あたり2,400tの超純水を生産する実証プラントを半導体供給企業に設置し、実際に運営する計画を立てている。超純水生産施設の設置が完了すると、半導体設計・施工・運営段階に使われる超純水工程の最大60%が国産化できる見込みだ。

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