솔브레인, 초고순도 ‘12나인’ 액체 불화수소 대량 생산
국내 화학 소재 전문기업 솔브레인이 최고 수준인 12나인(Nine) 액체 불화수소(99.9999999999%) 대량 생산 능력을 확보했다. 국내 수요의 70~80% 물량을 담당할 수 있는 수준의 양산체제를 갖춘 것으로 알려졌다. 기업 수요에 정부가 빠르게 대응해 신규 공장 인허가를 7개월가량 앞당겼다. 정부는 이 같은 사례를 바탕으로 올해 국내 소재·부품·장비(이하 소부장) 기업 기술개발에서 전주기 지원을 강화한다.
솔브레인은 2일 충남 공주시 공장에 성윤모 산업통상자원부 장관이 방문한 자리에서 최대 12나인 액체 불화수소까지 생산할 수 있는 설비를 구축했다고 밝혔다.
액체 불화수소는 반도체 공정 중 쌓이는 불필요한 산화막을 제거하기 위해 반드시 필요한 물질이다. 12나인은 용액에 메탈 등 불순물이 1조분의 1이 남아있는 상태다. 99% 뒤에 ‘9’가 늘어날 때마다 가격이 20~30%가량 올라간다. 그만큼 용액 순도가 높고 고도의 기술을 요한다.
강병창 솔브레인 대표도 “신·증설 공장이 조기 완공하고 가동할 수 있었던 것은 화학물질 관련 인허가 등 정부의 적기 지원이 있었기 때문에 가능했다”고 밝혔다.
https://news.naver.com/main/read.nhn?mode=LSD&mid=sec&sid1=101&oid=030&aid=0002860407
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