高純度フッ化水素は国産化出来ませ～ん。到底無理だ。韓国ようやく気付く

不良率が1％上がっただけでも年間数百〜数千億ウォンの損失が出るというのが、半導体業界の通説である。0.001％ほど含まれているヘキサフッ化ケイ素酸、0.003％含まれている二酸化硫黄、0.0005％の水分などを除去することにより、現在汎用されている半導体工程で使われる「ファイブナイン（99.999％）」の純度のフッ化水素を得ることができる。
ファイブナインからさらに測定さえ困難な0.00001％以下極微量のヒ素、鉄などを取り除くと、世界で日本（ステラケミファなど）だけが持っている「イレブンまたはトゥエルブナイン（99.999999999％）」の純度のフッ化水素が出てくる。10ナノメートル（㎚・1㎚= 10億分の1m）以下の次世代半導体プロセスに使われる素材だ。イレブンナインフッ化水素はC & B Industriesが2011年に特許を取得したが、まだ実験室レベルにとどまって商用化されていない。

 ペ・ヨンチャン教授は「フッ化水素は、実際にほとんど素材企業であれば誰でも作ることができますが、唯一のカギは純度」とし「日本は素材分野は、技術を超えて芸術となっているため（ムン・ジェイン政府が主張するように）素材関連の耕地と競争力を、数年以内に確保するのは難しい」と指摘した。イレブンナインフッ化水素などは数十年以上絶え間ない試行錯誤の末得られる「職人のノウハウ」という説明だ。
今回の講義で注目されたのは、蛍石ではなく、FSA（フッ化ケイ素酸）を用いてフッ化水素を製造する代替技術である。フッ化水素の原料である無水フッ酸の20％ほどが、この技術で製造されている。リン酸の製造過程で副産物であるFSAを削減しながら、低コストで無水フッ酸を生産し、環境汚染低減ができるという説明だ。米国のダウ・ケミカルなどがこの技術を持っているが、まだ国内で試みた企業はない。
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