'포토레지스트' 안 써도 되는 반도체 제조기술 나왔다

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    • 1名無し2019/07/21(Sun) 23:05:26ID:g4MTE5ODY(1/1)NG報告

      https://m.news.naver.com/read.nhn?mode=LSD&mid=sec&sid1=105&oid=015&aid=0004179425

      일본이 한국 수출을 금지한 ‘포토레지스트(감광제)’를 쓰지 않고도 10nm(나노미터) 이하의 초정밀 반도체를 제조할 수 있는 기술이 개발됐다. 포토레지스트는 반도체 광식각(포토리소그래피) 공정의 핵심 소재다.

      한국과학기술연구원(KIST) 광전하이브리드연구센터 손정곤 책임연구원팀은 이 같은 기술을 개발해 관련 논문을 글로벌 학술지 ‘네이처 커뮤니케이션즈’에 실었다고 21일 밝혔다.

      연구진은 특수 고분자 물질인 ‘블록공중합체’가 스스로 nm 이하 미세패턴을 만드는 ‘자기조립’ 성질을 이용했다. 블록공중합체는 두 가지 이상의 저분자물질(모노머)이 블록모양으로 반복돼 결합한 고분자물질을 말한다. 열을 가하거나 용매에 녹이면 특별한 모양으로 바뀌는데 이를 ‘자기조립’이라고 한다.

      블록공중합체는 일본이 독점하는 포토레지스트를 대체할 신소재로 주목받아왔다. 그러나 블록공중합체 나노패턴 공정은 회로 기본 단계인 수직 패턴을 구현하는 것부터 까다로운 과정이 필요해 상용화가 어려웠다. 하나의 블록공중합체를 써서 한 번의 수직 패턴을 새기는 데 매번 다른 방법을 써야 했기 때문이다.

      KIST 연구진은 ‘아르곤 플라즈마’를 이용해 블록공중합체 수직구조를 간단히 구현하는 방법을 제안했다. 연구진은 블록공중합체 박막에 아르곤(Ar) 플라즈마 처리를 하면 3~5nm 크기의 얇은 가교층(고분자 사슬 간 화학적 결합이 이뤄지는 곳)이 형성된다는 사실을 알아냈다.

      또 이 가교층을 통해 블록공중합체의 모양과 종류에 상관없이 수직 패턴을 구현할 수 있다는 것을 실험으로 입증했다. PS-b-PMMA, PS-b-P2VP 등 서로 다른 여섯 가지 블록공중합체를 이 가교층을 통해 열처리 또는 솔벤트 용매처리한 결과 모두 수직 패턴이 만들어졌다. 포토레지스트를 통해 회로패턴을 새기는 공정을 블록공중합체로 대체할 가능성이 확인된 것이다.

    • 2名無し2019/07/22(Mon) 00:21:29ID:Y3NDM5MjI(1/2)NG報告

      半導体一つ辺り数千kmのパターンを描く必要があります。
      アルゴンプラズマでそのパターンを描くにはとても時間がかかる。
      ウェハー一枚ごとにそのパターンを半導体の数だけ繰り返す必要がある。

      今でも電子ビームで類似の方法が考案されてるけど、パターンを描く距離が長いと時間コストが大きすぎるので実用化できていない。同じ理由でこの技術も使えない。

    • 3名無し2019/07/22(Mon) 00:23:25ID:AzMzk0ODA(1/1)NG報告

      スレ終了www

    • 4名無し2019/07/22(Mon) 00:23:40ID:kxODAyMjQ(1/1)NG報告

      よかったね

    • 5日本国民2019/07/22(Mon) 00:25:25ID:EyODE0ODI(1/1)NG報告

      夢身過ぎ。

    • 6名無し2019/07/22(Mon) 00:39:47ID:A1Mjg0MTI(1/1)NG報告

      これはもう認識の違いというほかにないが
      韓国としては日本から仕入れなくても他から調達or自国で開発してどうにかなるという認識だろう。
      日本から見るとそれら半導体の事業そのものがまるごと他の国が担えるだろうという認識。たとえば東南アジア諸国とか、すでに地盤が出来ている台湾とか。

    • 7名無し2019/07/22(Mon) 00:47:57ID:I5MDQzOTA(1/1)NG報告

      >>1
      仮に半導体に使える新技術が発表されたとしても
      実用化可能なレベルになるまでに何年もかかるし
      量産可能になるまでにさらに何年もかかる

      ところで知ってるか?
      素材のみならず、サムスンが使ってる半導体製造機器もほとんど日本製なんだぞ?
      完全に日本に依存してる会社なんだからそろそろ不買でもしたらどうかね?

    • 8詐欺師下劣下等生物ヒトモドキに死の鉄槌を下すべき2019/07/22(Mon) 00:49:54ID:c4OTAzNDI(1/1)NG報告

      >>1
      所詮は実験室レベルの技術。コレをどうやって短時間に大量生産する技術に育てるのかはマタ別のお話で、カンコクにはそんな時間は無い。
      それにコレとほぼ似た内容の工程を最近どこかで聞いた気がするのはき のせいかな?
      https://www.jstage.jst.go.jp/article/yukigoseikyokaishi1943/66/9/66_9_869/_pdf/-char/en
      と、言うかコレだろ?

    • 9名無し2019/07/22(Mon) 00:58:49ID:Y3NDM5MjI(2/2)NG報告

      >>8
      >>1 の違いはアルゴンプラズマによる局所重合
      製造レベルだとプラズマ発生プローブを1nm未満の精度で動かす必要がある。
      STMやAFMで利用されているピエゾ素子での駆動になるだろうが、精度を保って高速で動かすのは難しい。
      プローブを気相中で速く動かしすぎると、音速を超えた辺りで衝撃波の問題が出るので、製品に影響が出る。
      真空下だとたぶんモノマーの脱着とプローブなど周囲への汚染が問題になると思う。

    • 10名無し2019/07/22(Mon) 01:09:19ID:Y4MzY3NDA(1/1)NG報告

      アップル社に納品する3000万個の半導体、リコールが出ない事を祈る 

    • 11名無し2019/07/22(Mon) 01:20:33ID:U2NTA5ODg(1/1)NG報告

      >>1
      過去に韓国国内で報道された、韓国の新技術↓、一つでも実現したか?www
      ・癌を完全予防する抗がん抗体を発見
      ・パーキンソン病完治技術を世界で初めて開発
      ・耐性エイズウィルスを倒す新物質を開発
      ・脱毛予防物質を開発
      ・ガソリンを生み出す大腸菌を世界で初めて開発
      ・割れても自然に復旧する液晶技術を開発
      ・地震を予測する技術を開発

    • 12名無し2019/07/22(Mon) 01:22:28ID:kwMTEyODQ(1/1)NG報告

      凄いタイミングでできたなw
      よかったよかった
      サムスンらは是非とも使ってあげろよ

    • 13名無し2019/07/22(Mon) 01:23:31ID:M1NjM1OTQ(1/1)NG報告

      うんこ食いすぎて頭がいかれてやがる

    • 14名無し2019/07/22(Mon) 01:37:47ID:U4MjQxNjA(1/1)NG報告

      定期的に「虫下し」を飲まないと、
      寄生虫で脳が食い荒らされるらしいが。

      虫下し・・・飲まなかったんだな。

    • 15熱湯浴2019/07/22(Mon) 01:50:11ID:c5NDcyODY(1/1)NG報告

      >>1
      半導体どころか製造業も知らない朝鮮人が悔しまぎれに一言言ってトンズラーしやがったか。
      少しでも良い情報に接すると脳内に快感物質が一挙に放出され陶酔状態になる虐待された人に典型的な症状。

    • 16名無し2019/07/22(Mon) 01:58:15ID:YyNTQ0MA=(1/1)NG報告

      >>1
      サムスンの社長が日本製品でないと難しいと言ったのでは?

      8日後には、ホワイト国から外され更に対象品目が増える。
      出荷はされるが、提出書類が増えて納期的にもコスト的にも負担が増える。

      国産化を急ごうにも、国産化する為の設備も日本製品が必要だ。
      不買運動に盛り上がっているが、8日以内に工場を建設し国産化に向けて全ての設備を集められるのか?
      ヨーロッパやアメリカから手に入らない物が存在するらしいぞ。

    • 17名無し2019/07/22(Mon) 02:01:35ID:M2ODc1ODg(1/1)NG報告

      >>1
      良かったじゃない。
      これで韓国への輸出優遇措置をやめても問題ないよね?二度と日本産のフォトレジストを買わないでね。

    • 18名無し2019/07/22(Mon) 02:02:35ID:gyOTA0Njg(1/1)NG報告

      ぬか喜びだったね。

      涙拭けよ、韓国人!

    • 19名無し2019/07/22(Mon) 02:09:58ID:Q5NzMyNTA(1/1)NG報告

      レジスト剤なんて、
      同一製品でもロットが違うだけで調整が必要なものなのにw
      カメラフィルムメーカーも数多くあるけど、色味が違ったりするだろ。
      メーカー変えても影響がないと思ってたり、バカなんだよね。

      フォトレジストと違う製法に切り替えるとなれば、
      現在使っている工程は全て刷新、機械も変えることになる。
      さて、安定的に生産できるまでリリースタイムはいかほどに成るんだろう?

    • 20名無し2019/07/22(Mon) 02:12:54ID:M3Mjg5NzQ(1/1)NG報告

      というか、韓国人はすべての分野でそうなのだが、例えばマウスで多少有意のデータが出ると、もう「人体への新薬開発成功!」と発表することが多いのだよな。
      別にノーベル賞なんてどうでもいいと思うが、結局、自慢をしたい(賞が欲しい)のか、何かの目標を達成したいのか。途中で本当の目標が分からなくなるのだろうな。朱子学の自己確認への偏執病だな。

    • 21名無し2019/07/22(Mon) 02:26:41ID:kyMDEzMDQ(1/1)NG報告

      >>1
      連日連夜フェイクニュースに踊らされてる朝鮮人を
      ご覧下さいw

    • 22名無し2019/07/22(Mon) 02:38:32ID:YzMDA1Mjg(1/1)NG報告

      >>1
      新技術がどんどん開発されて羨ましいwwwwwwwwwwwwwwwwwwwwwwww

    • 23無名2019/07/22(Mon) 02:54:28ID:U1Njk4NjY(1/1)NG報告

      結局はレチクル使ってフォトショット打つ方が時間あたりの製造数は上だよね。
      だからレジストは不可欠だよ。
      単価がいくらになるのかね?
      てか洗浄フッ化水素は必要だけどね。

    • 24名無し2019/07/22(Mon) 04:01:55ID:U0MTQ1ODQ(1/1)NG報告

      これも、安心させるための船内アナウンスだな。
      消されちゃうから写真は貼らないが。

      いい加減、根拠の内戦ないアナウンスだと気付いた方がいいぞ。

    • 25名無し2019/07/22(Mon) 05:11:29ID:I5MDQ3NzY(1/1)NG報告

      >>1
      出て来るか期待される、だろ?
      で、結局無理っぽいな
      何回も同じパターンを繰り返して無ぇで確立してから言えや

    • 26ななっしー2019/07/22(Mon) 05:17:49ID:Q3ODQ2Mzk(1/1)NG報告

      スレ主 息してるか?

    • 27Moral准尉2019/07/22(Mon) 06:10:19ID:kwODA4Njg(1/1)NG報告

      >>1
      日本の「経済植民地」という立ち位置からの独立おめでとうございます!応援していますので、ぜひ、今後も日本の技術なしで文明化社会の維持を目指してください!

      https://streamable.com/dgvu6

      GIF(Animated) / 1.54MB / 0ms

    • 28名無し2019/07/22(Mon) 06:24:17ID:MxODQxMDY(1/1)NG報告

      σ(゚∀゚ )オレのターンドロウw
      輸出品目制限拡大+金融商品取引停止w

    • 29名無し2019/07/22(Mon) 06:29:11ID:A2MTQ2MDA(1/1)NG報告

      >>1
      論文発表しただけじゃんw
      実用化してから言えw
      口だけミンジョクwww

    • 30名無し2019/07/22(Mon) 06:29:32(1/1)

      このレスは削除されています

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